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碳/金属纳米颗粒复合薄膜的制备方法

911   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:38:50
本发明公开了一种碳/金属纳米颗粒复合薄膜的制备方法,将金属靶置于一反应室中,然后通入一定流量的惰性气体和碳源气体,通过射频溅射制得碳/金属纳米颗粒复合薄膜。在反应过程中,碳源气体分解得到的碳吸附在微小的金属颗粒表面,能够有效地抑制金属颗粒在气相中的团聚,从而得到超微金属颗粒和碳的复合膜。此方法得到的薄膜,金属颗粒尺寸小且分散性良好,是理想的锂离子电池负极材料。
声明：
“碳/金属纳米颗粒复合薄膜的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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