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抛光组合物以及使用该抛光组合物的抛光方法

874   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:38:17
一种抛光组合物,包含有研磨剂;选自正磷酸、焦磷酸、多磷酸、偏磷酸、六偏磷酸、酸式磷酸甲酯、酸式磷酸乙酯、酸式磷酸乙二醇酯、酸式磷酸异丙酯、植酸和1-羟基亚乙基-1,1-焦磷酸中的至少一种酸;选自正磷酸、焦磷酸、多磷酸、偏磷酸、六偏磷酸、酸式磷酸甲酯、酸式磷酸乙酯、酸式磷酸乙二醇酯、酸式磷酸异丙酯、植酸和1-羟基亚乙基-1,1-焦磷酸中一种酸的钠盐、钾盐和锂盐中的至少一种盐;氧化剂;以及水。
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