根据图1的用于在体积流速为10
‑2mL/sec至10
5mL/sec的流动流体(2.2)中的具有400pm至≤500μm的粒度的悬浮物(2.3)的过滤器装置(1),包括:一装置(2),用于通过利用电子反馈回路稳定的超声波及其谐波(2.4.2)以1kHz至800MHz的频率和40dB至250dB的功率水平在流体(2.2)中或在附接于该流体的主体(2.6)中输入0.25W至1kW的能量,使粒度为1nm至50nm的悬浮物(2.3.1)和MPPS粒度为≥200nm至≤400nm的悬浮物(2.3.2)的比颗粒数(N/Vt)减小>99%,使得具有比颗粒数(N/Vt)≤20%的悬浮物(2.3.1)和/或悬浮物(2.3.2),以及具有粒度为≥50nm至≤200nm的悬浮物(2.3.3)和/或具有粒度为≥400nm至>1000nm的悬浮物(2.3.4)的流体(2.2.1)在每种情况下可获得≥80%的比颗粒数(N/Vt),进一步包括具有壁(2.1.1)的流管(2.1),该流管在其外侧(2.1.1.1)、其内侧(2.1.1.2)上和/或在壁(2.1.1)中具有多对纵波及其谐波(2.4.2.)的彼此相对的激励器(2.4.1)的对,和/或与激励器(2.4.1)相对的反射器(2.4.3)的对,流体(2.2)和(2.2.1)可流过该流管;用于流体(2.2)和(2.2.1)的输送装置(2.5),以及流管(2.1)与50nm至1000nm的最小可过滤粒度的过滤器(3)的连接件(2.7),其将过滤流体(2.2.2)中的悬浮物(2.3.1)、(2.3.2)、(2.3.3)和(2.3.4)的比颗粒数(N/Vt)保持低于可检测极限或至多0.1%,其中N=颗粒数,V=体积[m
3],t=时间[h],并且所指示的百分比与相应悬浮物的相应比起始数(N/Vt)=100%相关;以及利用过滤器装置(1)的过滤方法、用途和设备及装置。
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