合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 材料制备及加工技术

> 加工技术

> 半导体元件的制造方法

半导体元件的制造方法

972   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:37:29
本发明涉及一种半导体元件的制造方法。在离子注入步骤中,锂(LI)、硫(S)或硒(SE)被用作掺杂剂,它们具有比硅半导体制造工艺中常用作掺杂剂的磷(P)或砷(AS)高的对硅的扩散系数。在激活步骤中,通过将固态激光器或准分子激光器与半导体激光器结合使用来对离子注入表面进行激光退火。在激活步骤期间半导体激光器将激光束连续地照射到整个晶片表面。固态激光器或准分子激光器发射脉冲激光束。当按照上述配置方式时,就能防止器件失效的出现从而制造出具有令人满意的特性的半导体元件。亦有可能防止在激光照射期间产生的热引起的器件损坏。
声明：
“半导体元件的制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
加工技术
上一个：电池隔膜及其制备方法
下一个：2,3-二取代的吲哚的制备方法

与 “半导体元件的制造方法” 相关技术

▪ 基于金属离子配位调控分子组装理论的复杂钨矿浮选新技术
▪ 基于中钙体系的电解锰渣建材化低成本利用技术与应用
▪ 赤泥等多固废协同利用理论及其在路面基层材料中的应用
▪ 富氧鼓风炉处理铅锑阳极泥的工艺方法
▪ 自动浇铸锑锭输送设备
▪ 双辊薄带连铸机辊间侧封板支撑装置
▪ 高效的塑胶颗粒双磨盘磨粉机
▪ 风机消音装置
▪ 食品添加剂配料用振动筛
▪ 分流散热的大风力离心式通风机

相关加工设备推荐

三元材料
特种铝焊丝
立轴行星式搅拌机
加工铸造巴氏合金轴套
DEX行星式搅拌机深耕uhpc行业市场
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪基于金属离子配位调控分子组装理论的复杂钨矿浮选新技术
▪基于中钙体系的电解锰渣建材化低成本利用技术与应用
▪赤泥等多固废协同利用理论及其在路面基层材料中的应用
▪富氧鼓风炉处理铅锑阳极泥的工艺方法
▪自动浇铸锑锭输送设备
▪双辊薄带连铸机辊间侧封板支撑装置
▪高效的塑胶颗粒双磨盘磨粉机
▪风机消音装置
▪食品添加剂配料用振动筛
▪分流散热的大风力离心式通风机

报名参会
更多+

2024先进陶瓷材料制备加工与应用交流会
2024先进陶瓷材料制备加工与应用交流会
2024年08月08日 ~ 10日
2024再生铝产业技术进步与减污降碳创新研讨会
2024再生铝产业技术进步与减污降碳创新研讨会
2024年08月13日 ~ 15日
富矿精开科技创新研讨会
富矿精开科技创新研讨会
2024年08月14日 ~ 16日
2024中国铅锌产业科技大会
2024中国铅锌产业科技大会
2024年09月19日 ~ 21日
2024全国高温合金材料制备与应用技术交流会
2024全国高温合金材料制备与应用技术交流会
2024年09月20日 ~ 22日

报告下载

1 锂离子电池正极材料磷酸锰铁锂的
下载:207
2 磷酸(锰)铁锂材料的发展及动力电
下载:118
3 磷酸铁锂材料与电池体系的发展方
下载:110
4 磷酸铁锂的产业化与回收前景分析
下载:105
5 废旧动力电池磷酸铁锂材料再资源
下载:103
6 西藏盐湖锂资源和开发利用
下载:89
7 高倍率磷酸铁锂电池的研究与进展
下载:88
8 高能量密度磷酸铁锂电池的技术路
下载:86
9 磷酸铁锂材料性能改善研究
下载:75
10 回收磷酸铁锂性能的修复及其电池
下载:67
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

1智能耳穴调节装置
2《高强韧微纳米金属陶瓷材料关键技术开发与应用》——邓莹
3铝箔化成反应过程中的数据管理方法
4制备碳/碳复合材料的湿法针刺工艺
5改性生物炭及其制备方法和应用
6金刚石-碳化硅复合材料、制备方法以及电子设备
7钴酸铜催化电极材料及其在硝酸根还原制氨中的应用
8石英纤维/炭纤维增强炭基复合材料坩埚及其制备方法
9水性环氧树脂分散体及其制备方法
10具有多组分仿生层级结构的碳纤维、制备方法及复合材料
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记