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添加缓冲层的新型薄膜固态电解质的制备方法

1028   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:37:29
本发明属于锂离子电池领域，涉及到一种添加缓冲层的新型薄膜固态电解质的制备方法。其特征是在LiPON薄膜表面添加缓冲层来改善LiPON薄膜的界面性能。LiPON薄膜的制备是利用磁控溅射设备，靶材选择为Li3PO4(纯度为99.9％)靶材；打开磁控溅射设备，安装靶材与基片，关闭溅射室，将其抽至7×10‑4Pa的高真空，然后通入氮气，工作压强调整为1.5Pa，溅射功率设置为180W，溅射时间为10h。LiSiPON缓冲层的制备是选择Li3PO4‑Li3SiO3(纯度为99.9％)靶材，将溅射室抽至7×10‑4Pa的高真空，然后通入工作气体，工作压强调整为1.5Pa，溅射功率设置为180W，溅射时间为1h。本发明可以改善LiPON固态电解质的水解还原问题，得到具有稳定界面结构的固态薄膜电解质。
声明：
“添加缓冲层的新型薄膜固态电解质的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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