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在负极集流体材料上激光溅射沉积渔网状SiOx薄膜的制备方法

1026   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:32:20
本发明公开了一种在负极集流体材料上激光溅射沉积渔网状SiOx薄膜的制备方法，以硅片作为溅射靶材，以负极集流体材料作为沉积基底，将负极集流体材料和硅片同时固定于试样台上，采用激光溅射沉积的方法，靶材硅片在激光的烧蚀作用下与背景气体氧气发生反应生成SiOx沉积在负极集流体材料基底上。将本发明制备得到的沉积有SiOx薄膜的负极集流体材料作为锂离子电池负极，是一种具有高容量和循环稳定性的锂离子电池负极材料，且不加入任何粘结剂和导电剂避免了添加剂对负极材料电化学性能的不良影响。本发明实施费用低、操作简便，可控性高，是一种高效经济的合成方法。
声明：
“在负极集流体材料上激光溅射沉积渔网状SiOx薄膜的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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