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体声波谐振器的制造方法

1024   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:32:18
一种体声波谐振器的制造方法，包括：提供用于形成压电层的压电衬底；在压电衬底的用于形成压电层的部分上形成第一电极结构；在第一电极结构上形成介电层，并对介电层进行图案化工艺，以形成包括牺牲介电部和周边介电部的图案化的介电层；在图案化的介电层上形成边界层，边界层覆盖图案化的介电层的表面且环绕牺牲介电部；在形成边界层之后或在形成第一电极结构之前将压电衬底薄化成压电层，其中第一电极结构位于压电层的第一侧；在压电层的第二侧上形成第二电极结构；以及移除牺牲介电部，以形成谐振空腔。所述方法利用压电衬底来形成压电层，可使用铌酸锂晶体、钽酸锂晶体作为压电材料，具有良好的压电特性，进而可提高体声波谐振器的带宽。
声明：
“体声波谐振器的制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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