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单晶衬底及其切割方法

948   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:28:26
公开一种单晶衬底及其切割方法。单晶衬底包括具有SAW传播表面的钽酸锂衬底;和在所述表面上具有用来发射和/或检测表面声波的电极的输入和输出IDT,其中表面波的传播方向平行于X’轴,并且该衬底还具有垂直于所述表面的Z’轴和平行于该表面且垂直于X’轴的Y’轴,钽酸锂衬底具有由修正轴X、Y和Z所限定的晶体取向,轴X’、Y’和Z’的相对取向由欧拉角Φ、Θ和Ψ限定,其中Φ的范围为-5°≤Φ≤+5°,Θ的范围为70°≤Θ≤90°,Ψ的范围为85°≤Ψ≤95°,或其中Φ的范围为-5°≤Φ≤+5°,Θ的范围为20°≤Θ≤40°,Ψ的范围为5°≤Ψ≤25°,或其中Φ=0°,Θ=168°和Ψ=90°。
声明：
“单晶衬底及其切割方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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