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半导体级四(甲乙氨基)锆的制备方法

893   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 23:28:25
本发明公开了半导体级四(甲乙氨基)锆的制备方法,在惰性气氛保护下,在反应器中加入甲乙胺和烃类溶剂,然后向体系中加入有机锂化合物,制得甲乙胺基锂;向体系中加入四氯化锆;反应结束后进行过滤以及蒸馏,得到四(甲乙氨基)锆;四(甲乙氨基)锆经过提纯、吸附和过滤,得到高纯半导体级四(甲乙氨基)锆产品。不需要任何醚类溶剂,只需要单一的烃类溶剂即可,降低了合成成本和反应的毒性,具有更好的操作性,其产率较高,易于规模化的生产;经过纯化、吸附、过滤等步骤,最终使产品的纯度、颗粒度均较好满足半导体行业的产品要求。
声明:
“半导体级四(甲乙氨基)锆的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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