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声表面波驱动的二维微光学平台及其制造方法

697   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:26:55
一种微细加工技术领域的声表面波驱动的二维微光学平台及其制造方法。本发明二维微光学平台包括:基底、叉指换能器和滑动镜面,其中,基底是128°Y-X的铌酸锂单晶体,其上是相互交叉的叉指电极形成的叉指换能器,滑动镜面是活动部件,它置于基底之上。本发明设计了四个关于微光学平台中心相互对称的叉指换能器,来实现滑动镜面的二维平面驱动。可以通过调节加在四个IDT电极的射频电源开关来控制滑动镜面的左右、上下运动。方法步骤:①四个关于微光学平台中心相互对称的IDT加工;②滑动镜面的微加工。本发明整个加工过程完全可以通过基于半导体材料微制造方法来制作,平台的运动精度可达纳米级。
声明：
“声表面波驱动的二维微光学平台及其制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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