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硅基-LN基混合集成光学芯片的制备方法

705   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:24:42
本发明属于集成光学和光纤传感技术领域，具体涉及一种硅基‑LN基混合集成光学芯片的制备方法，该芯片由硅基芯片和铌酸锂基两块芯片拼接而成，硅基芯片上集成了输入光波导、1×3Y分支耦合器、第七输出光波导、第一90°圆弧光波导、第一方向耦合器、第八输出光波导、第二90°圆弧光波导、第二方向耦合器、第九输出光波导、第三90°圆弧光波导、第三方向耦合器；铌酸锂基芯片上集成了第一Y分支耦合器、第二Y分支耦合器、第三Y分支耦合器。该芯片混合集成了多个关键功能波导器件，可实现光束分束、合束及调制等，具有集成度高、一致性好、功率低、体积小和可靠性高等众多优点，可应用于开发三轴光纤陀螺。
声明：
“硅基-LN基混合集成光学芯片的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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