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声波共振器、滤波器以及复用器

931   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:22:23
本发明涉及声波共振器、滤波器以及复用器。声波共振器包括：压电基板，该压电基板是钽酸锂基板或铌酸锂基板且具有20μm或更小的厚度；支撑基板，该支撑基板具有与压电基板的下表面结合的上表面，并且是主要由二氧化硅组成的玻璃基板；以及多个电极指，该多个电极指位于压电基板的上表面上，激励声波，并且包括主要由Cr、Mo以及W中的至少一者组成的金属膜。
声明：
“声波共振器、滤波器以及复用器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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