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电化学器件中电极层上的固态电解质的沉积

779   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:22:22
本文所描述的是针对在电极(例如Li金属、LiCoO2、WO3、NiO等)上沉积LiPON、或其它的锂离子传导性电解质、薄膜的，用于改良薄膜电化学器件(例如薄膜电池和电致变色器件)的制造的方法和设备。一种在沉积系统中制造电化学器件的方法可以包含：大致上在电化学器件的电极层的一部分表面的周围设置导电层；将导电层电连接到导电的、但电浮动的表面；以及在沉积室内、在电化学器件的电极层的所述一部分表面上沉积锂离子传导性固态电解质层，其中沉积包含在沉积室内形成等离子体；其中在沉积的过程中，导电的、但电浮动的表面在沉积室内。
声明：
“电化学器件中电极层上的固态电解质的沉积” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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