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复合蓝色水晶衬底基片及其制备方法

837   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:22:20
本发明涉及蓝水晶衬底，尤其涉及一种复合蓝水晶衬底基片及其制备方法。复合蓝色水晶衬底基片，包括蓝色水晶晶片(α－SiO2)，在蓝色水晶晶片(α－SiO2)表面复合设有一层硅酸锂(γ－Li2SiO2)。本发明是利用气相传输平衡方法制备而成的，该复合蓝色水晶衬底基片(Li2SiO2/α－SiO2)，克服了传统的蓝宝石衬底基片(Li2AlO2/α－Al2O3)价格高，硬度高，不易加工等缺点，划片的成品率在90％左右。
声明：
“复合蓝色水晶衬底基片及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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