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混合集成光纤陀螺光学芯片的制备方法

765   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:22:14
本发明属于半导体工艺技术领域，具体涉及一种混合集成光纤陀螺光学芯片的制备方法，所述芯片包括基底、光源、硅基3dB耦合器、铌酸锂Y分支相位调制器、及信号探测器，硅基3dB耦合器基于硅基二氧化硅光波导技术，包括相互连通的Y分支波导、两个90°圆弧波导、锥形波导和两个直波导，锥形波导的宽端作为光学芯片的光输入端口，所述光源正对光输入端口，与Y分支相连的直波导作为光学芯片的信号输出端口，信号探测器的光敏面正对信号输出端口，与90°圆弧波导相连的直波导作为光传输端口，与铌酸锂Y分支相位调制器3的基波导端面通过波导耦合工艺拼接固定。本发明消除了光纤熔接点，具有集成度高、体积小、功耗低、性能好、可靠性和环境适应性好等优点。
声明：
“混合集成光纤陀螺光学芯片的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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