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谐振器

991   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:20:04
一种谐振器，涉及半导体技术领域，该谐振器包括衬底以及依次设置于衬底上的二氧化硅层和铌酸锂薄膜层，其中，铌酸锂薄膜层上划分有以预设距离相间隔的第一刻蚀区域和第二刻蚀区域，对铌酸锂薄膜层的第一刻蚀区域和第二刻蚀区域分别刻蚀并穿透二氧化硅层至露出衬底，在第一刻蚀区域和第二刻蚀区域内填充保护墙，保护墙至少超出二氧化硅层的上表面。该谐振器能够有效控制空腔的形状，从而避免影响器件性能。
声明：
“谐振器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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