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具有铒掺杂氧化钽脊形结构的波导放大器制备方法

769   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:20:04
本发明公开了一种具有铒掺杂氧化钽脊形结构的波导放大器制备方法，通过本发明产生的放大器包括硅衬底、二氧化硅下包层、掺铒铌酸锂薄膜层、二氧化硅缓冲层、掺铒氧化钽脊形波导结构和二氧化硅上包层，采用硅基铌酸锂薄膜作为基片，利用与铌酸锂折射率相近的铒掺杂氧化钽作为脊形结构，在通信波段，通过铒离子的放大作用，能够弥补光传输和调制的过程中带来的光损耗；相对于干法刻蚀技术，制备的脊形结构工艺成本低，成品率高，提高了器件的稳定性，具有制作工艺简便、器件尺寸小、弯曲半径小、稳定性好等优点。
声明：
“具有铒掺杂氧化钽脊形结构的波导放大器制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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