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表面声波器件的频率调节方法、表面声波器件及电子设备

1121   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:19:17
本发明的课题是提供一种在使用准纵漏表面声波的表面声波器件中能够高精度地进行频率调节的表面声波器件的频率调节方法。作为解决手段,通过蚀刻形成有IDT电极(2)的、由钽酸锂基板或铌酸锂基板或四硼酸锂基板构成的压电基板(1)的在厚度方向上与形成有IDT电极(2)的面相对的面(基板背面)(1b),进行表面声波器件(10b)的频率调节。
声明：
“表面声波器件的频率调节方法、表面声波器件及电子设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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