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复合吸收层热释电红外探测器

797   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:19:15
本发明公开了一种复合吸收层热释电红外探测器，属于热释电探测器技术领域。本发明热释电红外探测器中吸收层由顶层至底层依次包括：钛金属层(1)、介质层(2)、镍铬合金层(3)、钽酸锂晶体层(4)和反射层(5)；所述镍铬合金层(3)沉积在钽酸锂晶体层(4)的顶面，所述反射层(5)沉积在钽酸锂晶体层(4)的底面，所述钛金属层(1)沉积在介质层(2)的顶面。本发明制备出的热释电红外探测器的复合吸收层与单一金属吸收层薄膜作热敏感层相比，本发明具有更好的表面致密性、高的吸收系数和较小的热损失，能够获取高性能热响应，利于制备出高精度热释电红外探测器。
声明：
“复合吸收层热释电红外探测器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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