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声波器件

853   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 23:15:14
一种声波器件,该声波器件包括:Y?切割X?传播钽酸锂基板,所述Y?切割X?传播钽酸锂基板具有20°或更大且48°或更小的切割角;以及格栅电极,所述格栅电极由层叠在基板上的一个或更多个金属膜组成,并且激发声波,其中,当所述一个或更多个金属膜中的各个金属膜的密度由ρi表示,各个金属膜的泊松比由Pi表示,各个金属膜的膜厚度由hi表示,Cu的密度由ρ0表示,Cu的泊松比由P0表示,并且节距由λ表示时,对于所述一个或更多个金属膜,各个金属膜的“(hi/λ)×(ρi/ρ0)×(Pi/P0)”的总值大于0.08。
声明:
“声波器件” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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