合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 材料制备及加工技术

> 加工技术

> 具备氧化物单晶薄膜的复合晶片的制造方法

具备氧化物单晶薄膜的复合晶片的制造方法

840   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:15:12
本发明提供一种复合晶片，其在支持晶片和氧化物单晶薄膜的贴合界面不易产生破裂或剥落，且在支持晶片上的整个面转印有作为钽酸锂或铌酸锂的氧化物单晶的薄膜。具体来说是一种复合晶片的制造方法，其至少包括：在氧化物单晶晶片的内部形成离子注入层的工序；对氧化物单晶晶片的经离子注入的表面和支持晶片的表面中的至少一者实施表面活化处理的工序；将氧化物单晶晶片的经离子注入的表面和支持晶片的表面贴合而获得接合体的工序；在接合体的至少一个表面具备具有比氧化物单晶晶片小的热膨胀系数的保护晶片的工序；以及以80℃以上的温度对具备保护晶片的接合体进行热处理的工序，且沿着离子注入层剥离而获得被转印于支持晶片上的氧化物单晶薄膜的工序。
声明：
“具备氧化物单晶薄膜的复合晶片的制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
加工技术
上一个：晶片生成方法
下一个：碳氮复合物空心材料及其制备方法和应用

与 “具备氧化物单晶薄膜的复合晶片的制造方法” 相关技术

▪ 极低品位铜钼矿资源绿色高效回收关键技术及产业化
▪ 飞灰及焚烧残渣无废全利用项目
▪ 冶炼污酸浓缩脱氟氯工艺技术
▪ 新一代超快充锂电硬炭负极材料产业化
▪ 锂离子电容器的产业化项目
▪ 堆场清水喷淋启动技术开发与应用
▪ 红土镍矿还原焙烧-氨浸综合回收利用
▪ 改善铝钛硼细化剂组织性能的方法
▪ 高性能低损耗铁基软磁复合材料
▪ 冶炼行业污酸及料液中氟氯去除技术

相关加工设备推荐

双氟磺酰亚胺锂
复合材料热压罐固化设备
立轴行星式搅拌机-混凝土搅拌机
等离子体雾化制备粉末材料生产装备
陶瓷透水砖搅拌机
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪极低品位铜钼矿资源绿色高效回收关键技术及产业化
▪飞灰及焚烧残渣无废全利用项目
▪冶炼污酸浓缩脱氟氯工艺技术
▪新一代超快充锂电硬炭负极材料产业化
▪锂离子电容器的产业化项目
▪堆场清水喷淋启动技术开发与应用
▪红土镍矿还原焙烧-氨浸综合回收利用
▪改善铝钛硼细化剂组织性能的方法
▪高性能低损耗铁基软磁复合材料
▪冶炼行业污酸及料液中氟氯去除技术

报名参会
更多+

2024高分子材料合成与表征技术研讨会
2024高分子材料合成与表征技术研讨会
2024年08月01日 ~ 03日
2024先进陶瓷材料制备加工与应用交流会
2024先进陶瓷材料制备加工与应用交流会
2024年08月08日 ~ 10日
2024再生铝产业技术进步与减污降碳创新研讨会
2024再生铝产业技术进步与减污降碳创新研讨会
2024年08月13日 ~ 15日
富矿精开科技创新研讨会
富矿精开科技创新研讨会
2024年08月14日 ~ 16日
第三届全国先进功能材料制备/加工及应用技术交流会
第三届全国先进功能材料制备/加工及应用技术交流会
2024年08月16日 ~ 18日

报告下载

1 锂离子电池正极材料磷酸锰铁锂的
下载:207
2 磷酸(锰)铁锂材料的发展及动力电
下载:118
3 磷酸铁锂材料与电池体系的发展方
下载:110
4 磷酸铁锂的产业化与回收前景分析
下载:105
5 废旧动力电池磷酸铁锂材料再资源
下载:102
6 西藏盐湖锂资源和开发利用
下载:89
7 高倍率磷酸铁锂电池的研究与进展
下载:88
8 高能量密度磷酸铁锂电池的技术路
下载:86
9 磷酸铁锂材料性能改善研究
下载:75
10 回收磷酸铁锂性能的修复及其电池
下载:66
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

1智能耳穴调节装置
2《高强韧微纳米金属陶瓷材料关键技术开发与应用》——邓莹
3铝箔化成反应过程中的数据管理方法
4制备碳/碳复合材料的湿法针刺工艺
5改性生物炭及其制备方法和应用
6金刚石-碳化硅复合材料、制备方法以及电子设备
7钴酸铜催化电极材料及其在硝酸根还原制氨中的应用
8石英纤维/炭纤维增强炭基复合材料坩埚及其制备方法
9水性环氧树脂分散体及其制备方法
10具有多组分仿生层级结构的碳纤维、制备方法及复合材料
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记