合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:中冶有色 >

有色技术频道 >

> 加工技术

> 单晶压电体声波谐振器及其制造方法、滤波器及电子设备

单晶压电体声波谐振器及其制造方法、滤波器及电子设备

922   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 23:14:02
本发明涉及一种体声波谐振器,其中所述谐振器的压电层为单晶铌酸锂压电层或单晶钽酸锂压电层;且所述谐振器的机电耦合系数不小于9%。本发明还涉及一种体声波谐振器的制造方法,谐振器的机电耦合系数不小于9%,该方法包括步骤:提供POI晶圆,所述POI晶圆包括衬底、单晶压电层以及设置在单晶压电层的第一侧与衬底之间的绝缘层,所述压电层为单晶铌酸锂压电层或单晶钽酸锂压电层;和移除衬底和至少一部分绝缘层,在移除衬底的过程中,所述绝缘层作为保护压电层的阻挡层,所述至少一部分绝缘层被移除以露出所述压电层,且所述压电层的与谐振器的有效区域对应的绝缘层被移除。本发明还涉及一种滤波器,和一种电子设备。
声明:
“单晶压电体声波谐振器及其制造方法、滤波器及电子设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签:
加工技术
全国热门有色金属技术推荐
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

报告下载

第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记