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单晶压电体声波谐振器及其制造方法、滤波器及电子设备

961   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:14:02
本发明涉及一种体声波谐振器，其中所述谐振器的压电层为单晶铌酸锂压电层或单晶钽酸锂压电层；且所述谐振器的机电耦合系数不小于9％。本发明还涉及一种体声波谐振器的制造方法，谐振器的机电耦合系数不小于9％，该方法包括步骤：提供POI晶圆，所述POI晶圆包括衬底、单晶压电层以及设置在单晶压电层的第一侧与衬底之间的绝缘层，所述压电层为单晶铌酸锂压电层或单晶钽酸锂压电层；和移除衬底和至少一部分绝缘层，在移除衬底的过程中，所述绝缘层作为保护压电层的阻挡层，所述至少一部分绝缘层被移除以露出所述压电层，且所述压电层的与谐振器的有效区域对应的绝缘层被移除。本发明还涉及一种滤波器，和一种电子设备。
声明：
“单晶压电体声波谐振器及其制造方法、滤波器及电子设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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