合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 材料制备及加工技术

> 加工技术

> 新型CMP研磨剂及其制造方法

新型CMP研磨剂及其制造方法

860   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:11:38
本发明公开一种CMP研磨剂及其制造方法，包括研磨粒子、保护剂和水，其中研磨粒子由碳包覆锂的核壳结构，研磨粒子可为直径为30‑80纳米的球型，保护剂中含有表面活性剂、增稠剂和有机酸。该CMP研磨剂的制造方法为：1）将锂片和氧化钙混合物，通过高能球磨法在惰性气氛下制备锂和氧化钙的粒子；2）将有机碳源加入所述的锂和氧化钙的粒子中，进行充分球磨，使其混合均匀；3）将混合均匀好的球磨材料，在惰性气氛下高温煅烧碳化后得到碳包覆锂的研磨粒子。本发明公开的一种CMP研磨剂，能够在铜层研磨的既不损伤铜层又不腐蚀铜层。
声明：
“新型CMP研磨剂及其制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
加工技术
上一个：交流微电网离网状态下混合储能系统协调控制方法
下一个：动态自然自适应充电方法

与 “新型CMP研磨剂及其制造方法” 相关技术

▪ 极低品位铜钼矿资源绿色高效回收关键技术及产业化
▪ 飞灰及焚烧残渣无废全利用项目
▪ 冶炼污酸浓缩脱氟氯工艺技术
▪ 新一代超快充锂电硬炭负极材料产业化
▪ 锂离子电容器的产业化项目
▪ 堆场清水喷淋启动技术开发与应用
▪ 红土镍矿还原焙烧-氨浸综合回收利用
▪ 改善铝钛硼细化剂组织性能的方法
▪ 高性能低损耗铁基软磁复合材料
▪ 冶炼行业污酸及料液中氟氯去除技术

相关加工设备推荐

光伏太阳能边框型材
立轴行星式搅拌机
铂金电极
立轴行星式搅拌机
WP25L WP18L WP32L 船用压缩机安全阀
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪极低品位铜钼矿资源绿色高效回收关键技术及产业化
▪飞灰及焚烧残渣无废全利用项目
▪冶炼污酸浓缩脱氟氯工艺技术
▪新一代超快充锂电硬炭负极材料产业化
▪锂离子电容器的产业化项目
▪堆场清水喷淋启动技术开发与应用
▪红土镍矿还原焙烧-氨浸综合回收利用
▪改善铝钛硼细化剂组织性能的方法
▪高性能低损耗铁基软磁复合材料
▪冶炼行业污酸及料液中氟氯去除技术

报名参会
更多+

第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
2024年07月26日 ~ 28日
2024先进陶瓷材料制备加工与应用交流会
2024先进陶瓷材料制备加工与应用交流会
2024年08月08日 ~ 10日
第十一届中国铝工业科学技术发展大会
第十一届中国铝工业科学技术发展大会
2024年08月13日 ~ 15日
富矿精开科技创新研讨会
富矿精开科技创新研讨会
2024年08月14日 ~ 16日
第三届全国先进功能材料制备/加工及应用技术交流会
第三届全国先进功能材料制备/加工及应用技术交流会
2024年08月16日 ~ 18日

报告下载

1 锂离子电池正极材料磷酸锰铁锂的
下载:207
2 磷酸(锰)铁锂材料的发展及动力电
下载:118
3 磷酸铁锂材料与电池体系的发展方
下载:110
4 磷酸铁锂的产业化与回收前景分析
下载:105
5 废旧动力电池磷酸铁锂材料再资源
下载:102
6 西藏盐湖锂资源和开发利用
下载:89
7 高倍率磷酸铁锂电池的研究与进展
下载:88
8 高能量密度磷酸铁锂电池的技术路
下载:86
9 磷酸铁锂材料性能改善研究
下载:75
10 回收磷酸铁锂性能的修复及其电池
下载:66
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

1智能耳穴调节装置
2《高强韧微纳米金属陶瓷材料关键技术开发与应用》——邓莹
3铝箔化成反应过程中的数据管理方法
4制备碳/碳复合材料的湿法针刺工艺
5改性生物炭及其制备方法和应用
6金刚石-碳化硅复合材料、制备方法以及电子设备
7钴酸铜催化电极材料及其在硝酸根还原制氨中的应用
8石英纤维/炭纤维增强炭基复合材料坩埚及其制备方法
9水性环氧树脂分散体及其制备方法
10具有多组分仿生层级结构的碳纤维、制备方法及复合材料
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记