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γ-LiAlO2/α-Al2O3柔性衬底材料及其制备方法

613   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:05:36
一种适合于高质量GaN外延生长的 γ－LiAlO2/α－Al2O3柔性衬底材料及其制备方法， 该柔性衬底材料是在白宝石α－Al2O3上设有一层四 方相的铝酸锂γ－LiAlO2构成。该柔性衬底材料的制 备方法是：先将清洗的α－Al2O3衬底送入脉冲激光淀积(PLD) 系统，在富锂的环境气氛下淀积Li2O薄膜，然后将上步骤中 得到的Li2O/α－Al2O3样品放入退火炉中，在富锂的反应气氛 下，Li2O与α－Al2O3在高温下发生固相反应得到γ－LiAlO2 覆盖层，通过控制退火时间得到具有不同厚度的γ－LiAlO2 覆盖层，再利用去离子水溶解清洗掉未反应的Li2O，从而得到 γ－LiAlO2/α－Al2O3柔性衬底。
声明：
“γ-LiAlO2/α-Al2O3柔性衬底材料及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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