本发明是关于一种靶材,特别是关于一种电致变色材料用靶材、制备方法及其应用。所述的电致变色材料用靶材的分子式为LixAyOz,式中1≤x≤6,4≤y≤9,9.5≤z≤27.5,x+y=10,所述的A为过渡金属。所述的靶材的制备方法包括:压制胚体,将氧化锂粉与过渡金属粉混合制得混合粉,在1-40×105N的压力下压制成胚体;烧结,将制成的胚体在900-1600℃中烧结0.1-4h,制成靶材。采用本发明所述的电致变色材料用靶材,用溅射沉积法制备电致变色薄膜,所制得的电致变色薄膜中含有Li+,因此不需要进行锂化过程,且锂化率较高,简化了生产工艺,提高了生产效率,克服了现有锂化过程易引入杂质且Li+在薄膜中分布不均匀等问题。
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