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制备铌酸锂晶体薄膜畴结构的方法

654   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:00:31
一种LN晶体薄膜畴结构的制备方法，包括以下步骤：)确定LN晶体薄膜的+C面；清洗；匀胶；在LN晶体薄膜的+C面涂覆光刻胶；光刻胶涂覆1±0.2um厚度的光刻胶；匀胶后，在65±15℃热台上进行烘干，时间为7±3分钟；光刻与显影；镀膜；采用电子束蒸发镀膜，在显影后的样品表面镀上一层金属电极，作为后续极化的电极图案；镀膜金属为铬，膜厚为120±20nm；光刻胶剥离；加压极化；使用探针加压法，其中采用导电盐溶液能够使得ITO玻璃衬底和与LN晶薄膜‑C面形成良好的欧姆接触；两个探针分别接触LN晶体薄膜的+C面图案电极与衬底上的ITO玻璃；然后在探针上施加一个脉冲偏置电压，完成对LN晶体薄膜的室温极化，随后用铬腐蚀液将LN晶体薄膜表面的金属电极图案去除。 1
声明：
“制备铌酸锂晶体薄膜畴结构的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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