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基于氮化硅辅助的铌酸锂薄膜波导的全集成光学收发系统

919   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 22:45:40
本发明提出了一种基于氮化硅辅助的铌酸锂薄膜波导的全集成光学收发系统，包括由多模波导相连的发送模块和接收模块；光学频率梳激光源包括相连的片上单波长激光源和光频梳器件；波长‑模式调制模块包括依次相连的波长解复用器、功分器组、电光调制器阵列和模式复用器；光频梳器件与波长解复用器相连，模式复用器通过多模波导与波长‑模式解复用模块相连。该光学系统仅使用标准商业化的CMOS工艺就可以在同一块芯片上实现多波长激光器、电光调制器、波长（解）复用器、模式（解）复用器、光电探测器等器件的全集成，大大降低了芯片的工艺难度和制作成本。大大扩展了系统的通信容量，成倍地提高了系统的处理速度。
声明：
“基于氮化硅辅助的铌酸锂薄膜波导的全集成光学收发系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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