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基于单晶铌酸锂薄膜的偏振滤波型相位调制器

555   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 22:22:58
本发明公开了一种基于单晶铌酸锂薄膜的偏振滤波型相位调制器，可应用于光通信、光计算、微波光子技术等，属于集成光学领域。本发明器件结构主要是铌酸锂薄膜(LNOI)上沉积氮化硅构成加载条型直波导、直波导上前端做金属银覆层构成具有偏振滤波功能的波导结构，以及在波导后端两侧设置相位控制电极结构。本发明的结构设计可同时实现偏振滤波和相位调制，使整个结构更为紧凑、高效，更有利于实现光路集成。
声明：
“基于单晶铌酸锂薄膜的偏振滤波型相位调制器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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