本实用新型涉及一种烷类化工产品-高纯
硅烷制备的装置,特别是一种采用氢化锂还原三氯氢硅反应制备硅烷的装置,适合于化工合成硅烷。一种采用氢化锂还原三氯氢硅反应制备硅烷的装置;由三氯氢硅储罐与硅烷反应器的入口相连;冷却器接入硅烷反应器的出口构成循环回路;低温吸附装置通过连接管线接入冷却器的出口;液化器与低温吸附装置的出口相连、液化器的出口连接压缩机的汽化升压装置构成。设计合理,使用方便,是理想的高纯硅烷制备装置。
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