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用于制备大纵横比铌酸锂波导的化学机械抛光液

933   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 22:17:34
本发明涉及一种用于制备大纵横比铌酸锂波导的化学机械抛光液，包括以下成分及质量百分数：二氧化硅为5‑50％；PH调节剂为0.1‑5％；活性剂为0.02‑1％；络合剂为0.5‑4％；缓蚀剂为0.01‑0.6％；去离子水为余量。本发明中，化学机械抛光液选用的表面活性剂一方面可以降低表面张力，提高质量传输速率，增大流动性；另一方面也对高低选择比起反作用，容易在低处成膜，降低低处的消磨率；因而该抛光液选取了最佳浓度，既可以保证抛光液的流动性不受影响，也保证该抛光液仍具有较大的铬，铌酸锂选择比。
声明：
“用于制备大纵横比铌酸锂波导的化学机械抛光液” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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