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锂氮共掺杂的金刚石半导体的微波等离子气相沉积系统

870   编辑：管理员   来源：中冶有色网  
2023-03-18 22:15:33
本发明公开了一种锂氮共掺杂的金刚石半导体的微波等离子气相沉积系统，涉及半导体技术领域。包括气相沉积室，所述气相沉积室内设置有用于放置衬底的安装底座，安装底座上方用于对衬底进行加热的热丝，所述气相沉积室内还设置有粉末铺设机构，以使粉末均匀铺设在衬底上；所述粉末铺设机构包括两端开口并竖直设置的料筒、入料管道和筛料板；所述入料管道的第一端延伸至气相沉积室外，第二端延伸至料筒内且竖直朝上；所述筛料板设置于料筒的上方，筛料板正对料筒顶部开口的位置设置有筛孔。本发明能够保证在半导体材料制备过程中，含有锂元素的粉末达到在水平向均匀铺设的效果。
声明：
“锂氮共掺杂的金刚石半导体的微波等离子气相沉积系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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