本发明涉及一种全固态薄膜锂离子电池及其制备方法。首先采用三靶间歇式共沉积法结合高温原位退火技术,在正极集流体上制备复合正极薄膜;然后采用反应式溅射沉积法结合低温原位退火技术,在复合正极薄膜上制备固态电解质薄膜;接着采用双靶持续式共沉积法,在固态电解质薄膜上制备复合负极薄膜;最后采用单靶沉积法,在复合负极薄膜上制备负极集流体薄膜,封装得到全固态薄膜锂离子电池。测试结果表明,该电池的固态电解质具有较高的离子电导率,并且与正负极薄膜表层界面间相互渗透,实现了真正的固‑固接触,从而提高了电池的比容量和充放电性能。
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