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基于铌酸锂薄膜的宽带端面耦合器及其制备方法

577   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 22:15:01
本发明为克服耦合带宽窄、耦合效率低的缺陷，提出一种基于铌酸锂薄膜的宽带端面耦合器及其制备方法，其中包括衬底，设置在衬底上的绝缘层，设置在绝缘层上的第一波导芯层、第二波导芯层、第三波导芯层、铌酸锂薄膜层和波导层，以及覆盖在所述第一波导芯层、第二波导芯层、第三波导芯层上的低折射率耦合波导层。本发明通过设置低折射率耦合波导层用于与锥形光纤模场匹配，能够拓宽带宽并提高耦合效率；通过采用第一波导芯层、第二波导芯层、第三波导芯层组成反向楔形结构，实现光模场全部从低折射率耦合波导层传输至第三波导芯层，从而继续在波导层中传输，解决了在短波下折射率不匹配的问题，提高耦合带宽，且其范围可覆盖近可见光至近红外波段。
声明：
“基于铌酸锂薄膜的宽带端面耦合器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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