本发明为克服耦合带宽窄、耦合效率低的缺陷,提出一种基于铌酸锂薄膜的宽带端面耦合器及其制备方法,其中包括衬底,设置在衬底上的绝缘层,设置在绝缘层上的第一波导芯层、第二波导芯层、第三波导芯层、铌酸锂薄膜层和波导层,以及覆盖在所述第一波导芯层、第二波导芯层、第三波导芯层上的低折射率耦合波导层。本发明通过设置低折射率耦合波导层用于与锥形光纤模场匹配,能够拓宽带宽并提高耦合效率;通过采用第一波导芯层、第二波导芯层、第三波导芯层组成反向楔形结构,实现光模场全部从低折射率耦合波导层传输至第三波导芯层,从而继续在波导层中传输,解决了在短波下折射率不匹配的问题,提高耦合带宽,且其范围可覆盖近可见光至近红外波段。
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