本实用新型涉及腐蚀装置技术领域,公开了一种铌酸锂法腐蚀装置,其包括装置本体、驱动机构、样品放置机构及通风机构,所述装置本体为一壳体,其内设有容纳腔,所述容纳腔分别设置有腐蚀槽及清水槽;所述装置本体上设有取放样门,用于取放基片样品;所述驱动机构与所述样品放置机构固定连接,用于驱动所述样品放置机构在所述容纳腔内水平方向上移动及竖直方向上移动;所述通风机构包括抽风机及通风管道,所述通风管道设于所述装置本体内,并连接所述抽风机;该装置取放基片样品更方便,提高了腐蚀效率,而且腐蚀后的基片样品不需要借助人工去洗去铌酸锂晶体表面的腐蚀液体,减少了工作人员的工作强度。
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