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用于形成垂直薄膜锂离子电池的方法

664   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 22:10:50
一种用于形成锂离子型电池的方法,包括以下步骤:在至少局部导电的衬底上形成绝缘层,该绝缘层具有贯通开口;相继且保形地沉积包括阴极集电极层、阴极层、电解质层以及阳极层的层叠,该层叠具有的厚度小于所述绝缘层的厚度;在所述结构上形成阳极集电极层,该阳极集电极层填充所述开口中剩余的空间;以及平坦化所述结构,以露出所述绝缘层的上表面。
声明：
“用于形成垂直薄膜锂离子电池的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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