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磁控溅射制备锂电池电极材料FeSe2薄膜的方法

770   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 22:09:42
一种磁控溅射制备锂电池电极材料FeSe2薄膜的方法,其步骤是 : a、溅射准备:选取硅基片作为衬底、FeSe靶材作为溅射靶材,安装于磁控溅射室内,调整溅射靶材到衬底的距离为5-7cm;b、溅射沉积:将真空室抽真空至气压小于2×10-4Pa,再通入氩气,调节溅射气压、溅射功率、衬底温度,经过一定时间的溅射在硅基片上沉积薄膜;c、后退火处理:将沉积薄膜的硅基片和硒粒球一起封入气压小于1×10-2Pa的真空石英管中,然后将石英管置于管式炉中,在氩气保护下进行后退火处理,即得FeSe2薄膜。该方法可制备大面积的性能良好的FeSe2薄膜,制备过程简单,能耗小,成本低,效率高,可重复性好,适合于工业化生产。
声明:
“磁控溅射制备锂电池电极材料FeSe2薄膜的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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