本发明提供了一种全固态薄膜
锂电池的制备方法,包括:在第一衬底的表面制备第二衬底;在所述第二衬底背离所述第一衬底的表面上方放置掩膜板,光刻蚀处理使所述第二衬底背离所述第一衬底的表面呈微纳结构;在所述第二衬底的微纳结构表面溅射沉积保护材料,制备第一保护层;在所述第一保护层的表面制备阴极集流体;在所述阴极集流体的表面溅射制备电池阴极;在所述电池阴极的表面制备电解质层;在所述电解质层的表面制备电池阳极;在所述电池阳极的表面制备阳极集流体,形成
固态电池单元;在所述固态电池单元的表面制备第二保护层;将得到的样品置于能够溶解光刻胶的有机溶剂中,清洗处理去除光刻胶材料,得到整体呈微纳结构的全固态薄膜锂电池。
声明:
“具有微纳结构的全固态薄膜锂电池的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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