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超大尺寸铌酸锂晶体的生长装置和方法

1011   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 22:05:48
本发明公开了一种超大尺寸铌酸锂晶体的生长装置和方法，包括铂金坩埚和位于生长装置内的可以旋转升降的籽晶杆；所述铂金坩埚外包覆保温层；所述保温层上缠绕加热线圈；所述籽晶杆穿过保温层并深入铂金坩埚中；所述铂金坩埚的上方设有上窄下宽的水冷罩，所述水冷罩的内部中空；所述水冷罩底端的宽度大于或等于铌酸锂晶体的直径；所述籽晶杆贯穿水冷罩的正中央；所述水冷罩上分别设有进水管和出水管，所述进水管和出水管分别贯穿保温层与外部连通；所述水冷罩上设有控制水冷罩上下移动的升降杆，所述升降杆贯穿保温层。本发明能够解决溶体对流缓慢，晶体生长界面处温度梯度小等问题，适合8～12英寸晶圆的制备。
声明：
“超大尺寸铌酸锂晶体的生长装置和方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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