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在周期极化近化学剂量比铌酸锂上制备平面和条形波导的方法

893   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 22:02:41
在周期极化近化学剂量比铌酸锂晶体上制作平面和条形光波导的方法,属于非线性光学晶体材料技术领域。制备方法如下:将已实现铁电畴周期极化的z切的铌酸锂晶体切割成尺寸为10mm×10mm×1mm的样品,对表面及相对两个端面光学抛光;用酒精和丙酮清洗样品,在样品上甩涂BP218光刻胶,掩模板曝光,然后显影、坚膜,形成光刻胶的条形掩模;将样品放在加速器靶室中,抽真空至10-4帕量级,进行轻离子或重离子注入;清洗光刻胶掩模,得到条形光波导;对样品光学抛光、清洗后直接进行离子注入,即得到平面光波导。
声明：
“在周期极化近化学剂量比铌酸锂上制备平面和条形波导的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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