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用于制备无定形含锂化合物的气相沉积法

1041   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:59:12
本发明涉及一种用于制备无定形含锂化合物的气相沉积法。用于制备不含磷的无定形含锂氧化物或氧氮化物化合物的气相沉积法包括：提供该化合物的每一组成元素的蒸气源，该蒸气源包括至少锂源、氧源、氧氮化物化合物的情况下的氮源、和一个或多个玻璃形成元素源；将基材加热到基本上180℃或更高；和从该蒸气源将该组成元素共沉积到该加热的基材上，其中该组成元素在该基材上反应以形成该无定形化合物。
声明：
“用于制备无定形含锂化合物的气相沉积法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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