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制备用于热释电探测器的钽酸锂晶片的方法

625   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:52:07
本发明实施例公开了提供了一种制备用于热释电探测器的钽酸锂晶片的方法，包括：将预定厚度的钽酸锂晶片置于浸泡溶液中进行浸泡处理并清洗，然后到工装上并将工装固定到驱动盘，对钽酸锂晶片进行研磨和抛光处理。本发明实施例的方法工艺简单，设备投资少，周期较短，利于降低成本及大规模制备晶片。
声明：
“制备用于热释电探测器的钽酸锂晶片的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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