一种采用倒金字塔阵列结构的三维全固态微型薄膜
锂电池,涉及锂电池。设有基片、绝缘膜、阴极集流体、下层阳极集流体、阴极膜、固体电解质膜、阳极膜和上层阳极集流体;所述绝缘膜设在基片上,阴极集流体和下层阳极集流体设在绝缘膜上,阴极膜设在阴极集流体上,固体电解质膜覆盖在阴极膜上,阳极膜设在固体电解质膜上,上层阳极集流体设在阳极膜和下层阳极集流体上。利用硅衬底的各向异性腐蚀,精确制造出倒金字塔阵列结构,并将其应用于全固态微型薄膜锂电池中,提高单位立足面积内的活性物质负载量,而且使各层薄膜之间的接触更加紧密。同时采用独特的掩膜板设计,将上下电路引至同一平面,是提高微电池的空间利用率、结构稳定性的有效方式。
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