本发明公开了一种薄膜
锂电池的制备方法,包括采用Al
2O
3单晶衬底为薄膜锂电池的基底,采用DC磁控溅射将弱取向的多晶Au膜进行沉积;采用红外激光加热,并在真空环境下退火;在脉冲激光沉积系统中,沉积LCO膜作为阴极,采用Li
1.2CoO
2的烧结陶瓷靶材;在射频磁控溅射沉积系统中,采用RF磁控溅射沉积的LiPON固体电解质层;采用常规蒸发方法将用于阳极的金属Li膜沉积在LiPON层上。本发明制备的薄膜电池也性能稳定,获得了清洁的电解质/电极界面,避免表面污染,实现全
固态电池的较低界面电阻。
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