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薄膜锂电池的制备方法

665   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:50:26
本发明公开了一种薄膜锂电池的制备方法，包括采用Al2O3单晶衬底为薄膜锂电池的基底，采用DC磁控溅射将弱取向的多晶Au膜进行沉积；采用红外激光加热，并在真空环境下退火；在脉冲激光沉积系统中，沉积LCO膜作为阴极，采用Li1.2CoO2的烧结陶瓷靶材；在射频磁控溅射沉积系统中，采用RF磁控溅射沉积的LiPON固体电解质层；采用常规蒸发方法将用于阳极的金属Li膜沉积在LiPON层上。本发明制备的薄膜电池也性能稳定，获得了清洁的电解质/电极界面，避免表面污染，实现全固态电池的较低界面电阻。
声明：
“薄膜锂电池的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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