本发明属锂离子薄膜电池技术领域,具体为一种用于锂离子电池的CrxON薄膜电极材料及其制备方法。CrxON薄膜电极材料采用直流反应溅射结合后退火工艺制备获得,CrxON薄膜的颗粒尺寸为50-100nm,厚度为100-500nm。薄膜电极的可逆比容量约为700mAh/g,在充放电循环过程中表现出优良的
电化学性能。该薄膜电极材料比容量高,循环性能好,制备方法简单,适用于薄膜锂离子电池。
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