合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 材料制备及加工技术

> 加工技术

> 三维楔形铌酸锂薄膜波导的制备方法

三维楔形铌酸锂薄膜波导的制备方法

746   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:35:40
本申请涉及半导体集成光电子器件技术领域，提供一种三维楔形铌酸锂薄膜波导的制备方法，应用于模斑转化。本申请在二维楔形波导的基础上，利用光刻胶存在自身消耗的特性，通过控制光刻胶厚度和刻蚀时间，使得刻蚀过程中光刻胶在楔形尖端先被完全消耗掉，露出铌酸锂层，再受到上方刻蚀气体的作用，从而实现垂直方向上波导厚度的减小。由于光刻胶完全消耗所需时间与波导宽度成正比，因此楔形尖端的光刻胶最先被消耗，波导厚度最小，随着波导宽度增大，波导厚度也相应增大，最终形成一个三维楔形波导结构。本申请利用光刻胶掩膜存在自身消耗的特性，按照传统干法刻蚀工艺即可制备出三维楔形薄膜铌酸锂波导，更进一步地提高了纤芯耦合效率。
声明：
“三维楔形铌酸锂薄膜波导的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
加工技术
上一个：锂金属电池的液态电解质
下一个：升温迅速纯氮气热效率高的锂电池生产用真空烤箱

与 “三维楔形铌酸锂薄膜波导的制备方法” 相关技术

▪ TC4，TC16钛合金紧固件用棒丝材
▪ 集成式重介质选矿机组
▪ 利用低品位磷矿生产土壤调理剂/重金属钝化剂技术
▪ 棕刚玉定向破碎自动化生产线
▪ 智能型火试金灰吹炉
▪ 砷锑金矿矿浆电解
▪ 氧化镍矿金属化还原-磁选镍铁新技术
▪ 废气处理用的活性炭吸附一体机
▪ 破碎机或粉磨机用锤头或辊套、柱碎机及柱磨机
▪ 基于稀疏贝叶斯学习与功率谱分离的风机叶片故障检测方法

相关加工设备推荐

高压水雾化生产粉末材料技术系统解决方案
晶体材料：金属铜单晶（Cu）
铱系钛基金属氧化物阳极
立轴行星式搅拌机
铜扁线/圆线/型线连续挤压生产线
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪TC4，TC16钛合金紧固件用棒丝材
▪集成式重介质选矿机组
▪利用低品位磷矿生产土壤调理剂/重金属钝化剂技术
▪棕刚玉定向破碎自动化生产线
▪智能型火试金灰吹炉
▪砷锑金矿矿浆电解
▪氧化镍矿金属化还原-磁选镍铁新技术
▪废气处理用的活性炭吸附一体机
▪破碎机或粉磨机用锤头或辊套、柱碎机及柱磨机
▪基于稀疏贝叶斯学习与功率谱分离的风机叶片故障检测方法

报名参会
更多+

第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
2024年07月26日 ~ 28日
中国有色金属冶金第八届学术会议
中国有色金属冶金第八届学术会议
2024年07月26日 ~ 28日
第十一届中国铝工业科学技术发展大会
第十一届中国铝工业科学技术发展大会
2024年08月13日 ~ 15日
2024再生铝产业技术进步与减污降碳创新研讨会
2024再生铝产业技术进步与减污降碳创新研讨会
2024年08月13日 ~ 15日
第三届全国难熔金属及硬质合金技术研讨会
第三届全国难熔金属及硬质合金技术研讨会
2024年08月30日 ~ 09月01日

报告下载

1 锂离子电池正极材料磷酸锰铁锂的
下载:207
2 磷酸(锰)铁锂材料的发展及动力电
下载:118
3 磷酸铁锂材料与电池体系的发展方
下载:110
4 磷酸铁锂的产业化与回收前景分析
下载:105
5 废旧动力电池磷酸铁锂材料再资源
下载:102
6 高倍率磷酸铁锂电池的研究与进展
下载:88
7 高能量密度磷酸铁锂电池的技术路
下载:86
8 西藏盐湖锂资源和开发利用
下载:86
9 磷酸铁锂材料性能改善研究
下载:75
10 回收磷酸铁锂性能的修复及其电池
下载:66
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

1智能耳穴调节装置
2《高强韧微纳米金属陶瓷材料关键技术开发与应用》——邓莹
3铝箔化成反应过程中的数据管理方法
4制备碳/碳复合材料的湿法针刺工艺
5改性生物炭及其制备方法和应用
6金刚石-碳化硅复合材料、制备方法以及电子设备
7钴酸铜催化电极材料及其在硝酸根还原制氨中的应用
8石英纤维/炭纤维增强炭基复合材料坩埚及其制备方法
9水性环氧树脂分散体及其制备方法
10具有多组分仿生层级结构的碳纤维、制备方法及复合材料
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记