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机器人锂电池生产用全固态薄膜的制备方法

1082   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:34:05
本发明涉及电池领域，且公开了一种机器人锂电池生产用全固态薄膜的制备方法，该制备方法适用于制备机器人锂电池生产用全固态薄膜，其特征在于，包括以下步骤：选取基底层，用500目‑3000目的砂纸对基片表面进行机械抛光，直至表面能发生镜面反射；采用磁控溅射技术在基底表面沉积一层金属流体层；采用负极活性物质材料作为靶材，安装好靶材和基片以后关闭送样室和外延室，利用机械泵，分子泵，离子泵将外延室真空抽至1×10‑7Pa以下，调整靶材与基片间的距离为60mm，自转速率为10‑15转/min，预溅射2‑4h以上，采用对耙交替沉积的方法，每一块靶材轰击10‑15下，本发明一种机器人锂电池生产用全固态薄膜的制备方法，可以提高固态膜的密度，稳定性好。
声明：
“机器人锂电池生产用全固态薄膜的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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