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电致变色膜系中的钽酸锂薄膜的制备方法

958   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:33:03
本发明公开一种电致变色膜系中的钽酸锂薄膜的制备方法，包括以下步骤：S1、取20Ω的ITO镀膜玻璃作为衬底；S2、将衬底装入样品架，送入磁控溅射镀膜腔室；以钽酸锂靶为靶材；S3、对磁控溅射镀膜腔室抽真空，当真空度达到10‑6Pa时，对衬底进行100～200℃的加热处理；S4、向磁控溅射镀膜腔室内通入氩气，开启射频电源，使靶材起辉；然后打开直流电源，在射频与直流的耦合过程中对靶材进行预溅射；S5、预溅射完毕后通入氧气，通过磁控溅射沉积钽酸锂薄膜；S6、待样品架自然冷却至室温后，取出衬底，得到钽酸锂薄膜；该方法制备得到的钽酸锂薄膜可控性、重复性强，提升膜系的整体性能。
声明：
“电致变色膜系中的钽酸锂薄膜的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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