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微型固态薄膜锂电池的制备方法

977   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:29:40
本发明涉及一种微型固态薄膜锂电池的制备方法。本发明属于化学电源技术领域。一种微型固态薄膜锂电池的制备方法，其特点是：微型固态薄膜锂电池的结构为玻璃/Al/V2O5/LiPON/Li/Cu；制备过程包括：采用磁控溅射法，沉积金属Al薄膜作为正极集流体，沉积V2O5薄膜作为正极薄膜；采用原子层沉积技术，沉积锂磷氧氮薄膜对正极薄膜进行修饰；采用磁控溅射技术，沉积锂磷氧氮固态电解质薄膜，沉积金属Li薄膜作为负极，最终完成微型固态薄膜锂电池的制备。本发明对微型固态薄膜锂电池正极/电解质薄膜界面进行了原子尺寸的修饰，能有效改善界面接触效果，降低电池阻抗，提高电池性能。
声明：
“微型固态薄膜锂电池的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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