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金属电极保护层的激光刻蚀钙钛矿探测器阵列及制备方法

958   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-02-25 02:15:03
本发明公开了一种金属电极保护层的激光刻蚀钙钛矿探测器阵列及制备方法，涉及半导体器件技术领域，包括：衬底；金属电极，位于衬底的一侧，且阵列排布；金属走线，位于衬底的一侧，与金属电极位于同层，且金属电极通过金属走线电连接；保护层，位于金属电极和金属走线背离衬底的一侧；在采用激光刻蚀过程中，保护层用于保护金属电极和金属走线；光吸收层，位于保护层背离衬底的一侧。本申请可实现在激光刻蚀的过程中对金属电极和金属走线进行保护，拓宽了激光刻蚀阵列的工艺窗口，提高了光电探测器阵列的探测精度。
声明：
“金属电极保护层的激光刻蚀钙钛矿探测器阵列及制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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