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用于锂电池的纳米氮化锡/硅负极材料及制备方法

823   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:15:14
本发明涉及锂电池技术领域，具体涉及一种用于锂电池的纳米氮化锡/硅负极材料及其制备方法，所述用于锂电池的纳米氮化锡/硅负极材料的制备方法，包括以下步骤：（1）制备负载二氧化硅阵列的硅基底；（2）负载硅阵列的硅基底的制备；（3）将负载硅阵列的硅基底置于真空沉积室中，向沉积室中通入惰性气体和氮气，开启偏压电源，以锡靶位靶材，在负载硅阵列的硅基底上溅射沉积氮化锡薄膜，得到预产物；（4）向真空沉积室中通入氮气，在200~300℃，对预产物进行等离子体刻蚀，得到用于锂电池的纳米氮化锡/硅负极材料。本发明的负极材料增加了Li离子脱嵌通道，同时细化晶粒，减少Li离子脱嵌过程中副反应产生，从而提高负极库伦效率。
声明：
“用于锂电池的纳米氮化锡/硅负极材料及制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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